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光谱仪典型应用 产品中心 > 光谱仪典型应用 > 膜厚测量仪
NanoCalc薄膜反射测量系统

薄膜的光学特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm~250µm的膜厚分析测量,对单层膜的分辨率为0.1nm。根据测量软件的不同,可以分析单层或多层膜厚。

产品特点

  • 可分析单层或多层薄膜

  • 分辨率达0.1nm

  • 适合于在线监测

操作理论

最常用的两种测量薄膜的特性的方法为光学反射和投射测量、椭圆光度法测量。NanoCalc利用反射原理进行膜厚测量。

查找n和k值

可以进行多达三层的薄膜测量,薄膜和基体测量可以是金属、电介质、无定形材料或硅晶等。NanoCalc软件包含了大多数材料的n和k值数据库,用户也可以自己添加和编辑。

应用

NanoCalc薄膜反射材料系统适合于在线膜厚和去除率测量,包括氧化层、中氮化硅薄膜、感光胶片及其它类型的薄膜。NanoCalc也可测量在钢、铝、铜、陶瓷、塑料等物质上的抗反射涂层、抗磨涂层等。

NanoCalc系统

NC-UV-VIS-NIR

重量:

250-1100 nm

厚度:

10 nm-70 m

光源:

氘卤灯

NC-UV-VIS

重量:

250-850 nm

厚度:

10 nm-20 m

光源:

氘卤灯

NC-VIS-NIR

重量:

400-1100 nm

厚度:

20nm-100µm (可选1µm-250µm)

光源:

卤灯

NC-VIS

重量:

400-850 nm

厚度:

50 nm-20μm

光源:

卤灯

NC-NIR

重量:

650-1100 nm

厚度:

70 nm-70μm

光源:

卤灯

NC-NIR-HR

重量:

650-1100nm

厚度:

70 nm-70μm

光源:

卤灯

NC-512-NIR

重量:

900-1700 nm

厚度:

50 nm-200μm

光源:

高亮度卤灯

 

NanoCalc规格

入射角:

90°

层数:

3层以下

需要进行参考值测量:

透明材料:

传输模式:

粗糙材料:

测量速度:

100ms - 1s

在线监测:

可以

公差(高度):

参考值测量或准直(74-UV)

公差(角度):

参考值测量

微黑子选项:

配显微镜

显示选项:

配显微镜

定位选项:

6"和12" XYZ 定位台

真空:

可以

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