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光谱仪典型应用 产品中心 > 光谱仪典型应用 > 等离子体监控系统
PlasCalc 等离子体监测控制仪
等离子体监控系统
PlasCalc 等离子体监测控制仪,实现200nm-1100nm波段内的等离子体测量,通过高级过程控制系统及精密数据存取算法,只需3ms就可以获得测量结果。

特点

  1、光学分辨率1.0nm(FWHM)
2、光谱范围 200-1100nm
3、快速的建模及存储实验方法

Recipe编辑器

Recipe编辑器有助于简单快捷的配置、构建及存储实验方法。对一些困难的等离子体工序诸如膜沉积测量、等离子体蚀刻监测、表面洁度监测、等离子体室控制及异常污染、排放监测等,能够快速简单的构建模块过程控制。

多种工具用于等离子体诊断

随PlasCalc配置的操作软件,集成的程式编辑器能够容易实现多种数学算法功能。可选的波长发生器(可以单独购买)用于类型确认,而波长编辑器可以用于优化信噪比。双窗口界面用于显示实际光谱及所有过程控制信息。

PlasCalc 配置说明

光谱范围:
200-1100 nm
光学分辨率:
1.0 nm (FWHM)
D/A 转换:
14 bit
数字I/O:
8 x TTL
模拟输出:
4 x [0-10V]
接口:
USB 1.1
功耗:
12 VDC @ 1.25 A

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