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光谱仪典型应用 产品中心 > 光谱仪典型应用 > 椭偏仪
椭偏仪
椭偏仪
SpecEl-2000-VIS椭偏仪通过测量基底反射的偏振光,进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。波长范围200-900nm。SpecEl通过PC控制来实现折射率,吸光率及膜厚的测量。

集成的精确测量系统

SpecEl由一个集成的光源,一个光谱仪及两个成70°的偏光器构成,并配有一个32位操作系统的PC.该椭偏仪可测量0.1nm-5um厚的单膜,分辨率0.1nm,测量时间5-15秒,并且折射率测量可达0.005%。

配置说明

波长范围:
380-780 nm (标准) 或450-900 nm (可选)
光学分辨率:
4.0 nm FWHM
测量精度:
厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%
入射角:
70°
膜厚:
单透明膜1-5000 nm
光点尺寸:
2 mm x 4 mm (标准) 或 200 µm x 400 µm (可选)
采样时间:
3-15s (最小)
动态记录:
3 seconds
机械公差 (height):
+/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0°
膜层数:
至多32层
参考:
不用
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