无电极Z-PinchTM EUV（极紫外）、SXR（软X射线）光源系列
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Energetiq光源是一款高亮度，高稳定、长寿命宽谱光源，采用革命性的光源技术——LDLS™激光驱动光源技术，这种光源从170nm通过可见光到近红外2100nm范围内亮度极高、光谱平坦，寿命比传统光源高一个数量级。
无电极Z-PinchTM EUV（极紫外）、SXR（软X射线）光源系列
Energetiq独特的技术基于Z-Pinch等离子体，但是完全不使用电极而是通过电感将电流耦合进入等离子体中。Energetiq光源中的等离子体通过磁性远离光源内壁，能够将热负载消除到极低并减少残留碎屑。Energetiq的无电极Z-Pinch技术有卓越的空间稳定性和稳定的可重复输出功率。
主要特点
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输出波长13.5nm，2nm-4nmTM
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输出功率10W@13.5±1%（可选20W型号）
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重复频率2kHz（可选10kHz型号）
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无电极Z-Pinch专利技术
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符合CE标志和SEMI S2-0703
主要应用
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EUV度量学
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耐EUV开发
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缺陷检测
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EUV显微学
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水窗显微镜（XSR版本）
选型指南
型号
EQ-10
EQ-10HR
EQ-10HP
EQ-10SXR
输出功率 （用氙气在2π球面）
10W,13.5nm,±1%宽带
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20W,13.5nm,±1%宽带
400mW,2.8nm,产生2-4nm软X射线
脉冲重复率
1200 to 2000 Hz
10kHz
1200 to 2500 Hz
2kHz
尺寸
小等离子体尺寸
残留情况
低残留
工作压强
一般70到100 mTorr
一般150 mTorr
一般70到150 mTorr
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氙气流速
一般5到15 sccm
一般100 sccm
一般5到15 sccm
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低成本
氙气流速低，将消耗成本降至极低，占地面小
可靠性强
无电极Z-Pinch专利技术，符合CE标志和SEMI S2-0703
应用
EUV度量学
耐EUV开发
缺陷检测
EUV显微学
EUV光学元件测量
EUV计量学
耐EUV开发
缺陷检测
EUV显微学
EUV掩膜检测
EUV度量学
耐EUV开发
EUV显微学
水窗显微镜
细胞微光束探测
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型号：EQ-10，EQ-10HR，EQ-10HP，EQ-10SXR
