鸑鷟高次谐波HHG光源 极紫外EUV光源 10-100nm
-
高次谐波（HHG）光源系统集群是高性能超短波长激光光源。高次谐波（HHG）光源能够产生并输出覆盖真空紫外（VUV）、极紫外（EUV）至软X射线（SXR）波段的激光，波长范围为1nm至200nm，光子能量范围为5.12eV至1240eV，脉冲宽度范围100as到100fs。
高次谐波（HHG）光源包括青鸾（VUV）、鸑鷟（EUV）和鸿鹄（SXR）三种型号，是同时实现飞秒/阿秒时间分辨率和纳米空间尺度分辨率的必要工具，广泛用于纳米成像、超快光谱、纳米材料科学、量子信息科学以及高端半导体制造等领域，是科研与工业应用中不可或缺的光源解决方案。
高次谐波（HHG）特点：
- 高功率、超短脉冲、超宽光谱激光
- 输出光谱单色化可调谐
- 超高空间相干性结构紧凑
- 长时间高稳定度
鸑鷟是一款基于高次谐波(HHG)技术的小型极紫外(EUV)激光光源系统,专为科研与工业应用设计。
鸑鷟高次谐波极紫外激光光源系统可产生并输出高功率、10-100 nm波长范围的窄谱线EUV激光(梳齿状光谱),系统采用紧凑型设计,整体尺寸仅为885 mmx420 mmx233 mm。
鸑鷟高次谐波极紫外激光光源的输出脉冲宽度小于50 fs,单个谐波的相对谱线宽度Δ入/λ<1%,同时具备超高时间分辨率和光谱分辨率,满足高精密光谱学实验需求。
鸑鷟高次谐波极紫外激光光源的配置灵活,兼容多种飞秒激光器与压缩器。针对特殊飞秒激光器提供定制化解决方案,精准满足用户对光子能量与通量的多样化需求。
作为一款高效、可靠且稳定的先进EUV激光光源工具,鸑鷟高次谐波极紫外激光光源为前沿科学研究和工业应用提供了强有力的技术支持。
鸑鷟高次谐波极紫外(EUV)激光光源产品特点：
- 输出波长覆盖极紫外（EUV）波段：10-100nm
- 输出激光波长可单色化，且可以在该光谱范围内灵活调谐
- 高频率转换效率，从基频红外到EUV波段
- 低气体消耗，大幅减少运行成本
- 光机电软件高度集成，操作简单，性能稳定，无需经常维护
- 可配置高效率全自动控制的可拓展EUV束线系统，光源输出直达应用
- 可拓展EUV束线系统配备先进光束指向控制、聚焦和稳定系统，支持全电脑自动调节与控制
应用领域：
- 光电子能谱学（ARPES）
- 相干衍射成像（CDI）
- EUV干涉&全息光刻
- 时间分辨极紫外光谱学
- 原子分子物理
- 超快化学动力学
- 半导体量检测
- EUV光学元件量检测
- 量子器件/芯片制造和检测
参数规格：
型号
鸑鷟
波长
10-100nm
输出谐波能量
1mW-1W
脉冲宽度
<50fs
重复频率
1-10MHz
尺寸
885x420x233mm
重量
55kg
-
-
鸑鷟是一款基于高次谐波(HHG)技术的小型极紫外(EUV)激光光源系统,专为科研与工业应用设计。鸑鷟高次谐波极紫外激光光源系统可产生并输出高功率、10-100 nm波长范围的窄谱线EUV激光(梳齿状光谱),系统采用紧凑型设计,整体尺寸仅为885 mmx420 mmx233 mm。
