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无电极Z-PinchTM EUV(极紫外)、SXR(软X射线)光源系列

  • Energetiq光源是一款高亮度,高稳定、长寿命宽谱光源,采用革命性的光源技术——LDLS™激光驱动光源技术,这种光源从170nm通过可见光到近红外2100nm范围内亮度极高、光谱平坦,寿命比传统光源高一个数量级。

    无电极Z-PinchTM  EUV(极紫外)、SXR(软X射线)光源系列

     

    Energetiq独特的技术基于Z-Pinch等离子体,但是完全不使用电极而是通过电感将电流耦合进入等离子体中。Energetiq光源中的等离子体通过磁性远离光源内壁,能够将热负载消除到极低并减少残留碎屑。Energetiq的无电极Z-Pinch技术有卓越的空间稳定性和稳定的可重复输出功率。

     

    主要特点

    • 输出波长13.5nm,2nm-4nmTM

    • 输出功率10W@13.5±1%(可选20W型号)

    • 重复频率2kHz(可选10kHz型号)

    • 无电极Z-Pinch专利技术

    • 符合CE标志和SEMI S2-0703

     

    主要应用

    • EUV度量学

    • 耐EUV开发

    • 缺陷检测

    • EUV显微学

    • 水窗显微镜(XSR版本)

     

    选型指南

     

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    10
     

    型号

    EQ-10

    EQ-10HR

    EQ-10HP

    EQ-10SXR

    输出功率   (用氙气在2π球面)

    10W,13.5nm,±1%宽带

    -

    20W,13.5nm,±1%宽带

    400mW,2.8nm,产生2-4nm软X射线

    脉冲重复率

    1200 to 2000 Hz

    10kHz

    1200 to 2500 Hz

    2kHz

    尺寸

    小等离子体尺寸

    残留情况

    低残留

    工作压强

    一般70到100 mTorr

    一般150 mTorr

    一般70到150 mTorr

    -

    氙气流速

    一般5到15 sccm

    一般100 sccm

    一般5到15 sccm

    -

    低成本

    氙气流速低,将消耗成本降至极低,占地面小

    可靠性强

    无电极Z-Pinch专利技术,符合CE标志和SEMI S2-0703

    应用

    EUV度量学

    耐EUV开发

    缺陷检测

    EUV显微学

    EUV光学元件测量

    EUV计量学

    耐EUV开发

    缺陷检测

    EUV显微学

    EUV掩膜检测

    EUV度量学

    耐EUV开发

    EUV显微学

    水窗显微镜

    细胞微光束探测

     

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卓越的空间稳定性和稳定的可重复输出功率 !

型号:EQ-10,EQ-10HR,EQ-10HP,EQ-10SXR

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