NanoCala光学薄膜厚度测量系统
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Ocean Optics Inc 美国海洋光学是领先的微型光纤光谱仪制造商,其光谱仪应用于各行各业,涵盖光电检测、生物医学、生命科学、环境检测、材料、化学、膜厚测量、工业过程控制、照明和显示等等领域。到目前为止,海洋光学在全世界已经卖出近十五万套光谱仪,其光谱仪光谱范围覆盖153-2500nm。
NanoCalc 光学薄膜厚度测量系统
NanoCalc是一种用户可配置的膜厚测量系统,它利用分光光谱反射仪来精确地测量光学或非光学薄膜厚度,可广泛应用于半导体、医疗和工业生产中。
利用白光干涉测量法的原理,NanoCalc用一个宽波段的光源来测得不同波长的反射数据,由于反射率n和k随膜厚的不同而变化,NanoCalc根据这一特性来进行曲线拟合从而求得膜厚。在NanoCalc中,不同类型材料的相应参数通过不同的模型来描述,从而保证了不同类型材料膜厚测量的准确性。NanoCalc的膜厚测量范围为1nm到1mm,只要待测材料有一定的透射或反射就能通过NanoCalc进行膜厚测量,这些材料包括氧化物、氮化物和保护膜层等,通常这些覆膜的基地材料包括硅晶片或玻璃灯。
1nm以上的金属膜厚也能测量,只要不是完全不透光的。对于已知的系统,3层以内的多层膜厚测量可以在不到一秒钟时间内完成。
通常拟合曲线和实际曲线由于干涉会引起一些差异,NanoCalc的算法充分考虑到了这一点,从而可以在比较粗糙的表面进行测量。
产品主要优势和特点
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UV/VIS/NIR高分辨率的配置
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测量准确度在1nm,精度在0.1nm
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可测量极限至10层薄膜
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膜厚测量Min.可至1nm,Max.可至1mm
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可测量Min.1nm厚的透明金属层
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提供试验台及附件用于复杂外形材料的测量
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对表面缺陷和光滑度不敏感
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庞大的材质数据库,保证各种材料的精确测量
快 速:
每次测量只需轻点一下鼠标,测量结果立即呈现在显示屏上,不到一秒钟。应用于在线模式下,可接受到采样信号后,立即测量。
准 确:
分辨率0.1nm,重复性0.3nm,绝对准确度优于1%,并且还有数百种材料组成的庞大材料库,帮助您准确分析您的薄膜。同时NanoCalc为光学测试系统,无任何运动部件,不会由于多次测量产生回程误差等机械运动误差,可长时间稳定工作。
无 损:
光学无损检测,无需像台阶仪、SEM等需破坏样品进行测量。
灵 活:
重量约为3.5kg,体积为180*150*263mm,USB连接方式,自适应90-240V的电压,携带方便,安装简单,可任意放置于实验室、生产线甚至办公桌上使用。拥有多种特种配件,可适用如非平面测量,显微测量,mapping等特殊要求。
易 用:
软件界面直观,操作简便,用户体验出色。无需专业知识以及复杂的技术培训,预先设置好测试配方后,每次重复调用即可。
性价比高:
相对于传统膜厚测量设备,NanoCalc拥有非常高的性价比。
主要应用
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半导体
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LCD/TFT/PDP
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LED
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触摸屏
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汽车
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医学
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太阳能
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聚合物薄膜
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眼镜
型号及参数:
产品型号
NanoCalc-VIS
NanoCalc-XR
NanoCalc-DUV
波长
400-850nm
250-1100nm
200-1100nm
厚度范围
50nm-20um
10nm-100um
1nm-100um
产品型号
NanoCalc-NIR
NanoCalc-VIS-NIR
NanoCalc-XR-NIR
波长
900-1700nm
350-1700nm
250-1700nm
厚度范围
100nm-250um
50nm-150um
10nm-250um
分辨率
0.1nm
可重复性
0.3nm
绝对准确度
<1%(50nm-100um)
层数
1~10层
距光纤距离
1~5mm
距镜片距离
5-100mm
入射角
90°通常
光斑大小
400um
显微光斑大小
1-20um
光纤长度
2m(可定制)
通讯接口
USB/RS232
功耗
12VDC,1.2A
电源
90-240VAC 50/60HZ
关联产品:
LIBS-激光诱导激光光谱系统(MX2500+)
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品牌:Ocean Optics
型号:NanoCalc