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NanoCala光学薄膜厚度测量系统

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    Ocean Optics Inc 美国海洋光学是领先的微型光纤光谱仪制造商,其光谱仪应用于各行各业,涵盖光电检测、生物医学、生命科学、环境检测、材料、化学、膜厚测量、工业过程控制、照明和显示等等领域。到目前为止,海洋光学在全世界已经卖出近十五万套光谱仪,其光谱仪光谱范围覆盖153-2500nm。

     

    NanoCalc 光学薄膜厚度测量系统

     

    NanoCalc是一种用户可配置的膜厚测量系统,它利用分光光谱反射仪来精确地测量光学或非光学薄膜厚度,可广泛应用于半导体、医疗和工业生产中。

     

    利用白光干涉测量法的原理,NanoCalc用一个宽波段的光源来测得不同波长的反射数据,由于反射率n和k随膜厚的不同而变化,NanoCalc根据这一特性来进行曲线拟合从而求得膜厚。在NanoCalc中,不同类型材料的相应参数通过不同的模型来描述,从而保证了不同类型材料膜厚测量的准确性。NanoCalc的膜厚测量范围为1nm到1mm,只要待测材料有一定的透射或反射就能通过NanoCalc进行膜厚测量,这些材料包括氧化物、氮化物和保护膜层等,通常这些覆膜的基地材料包括硅晶片或玻璃灯。

     

    1nm以上的金属膜厚也能测量,只要不是完全不透光的。对于已知的系统,3层以内的多层膜厚测量可以在不到一秒钟时间内完成。

     

    通常拟合曲线和实际曲线由于干涉会引起一些差异,NanoCalc的算法充分考虑到了这一点,从而可以在比较粗糙的表面进行测量。

     

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    产品主要优势和特点

    • UV/VIS/NIR高分辨率的配置

    • 测量准确度在1nm,精度在0.1nm

    • 可测量极限至10层薄膜

    • 膜厚测量Min.可至1nm,Max.可至1mm

    • 可测量Min.1nm厚的透明金属层

    • 提供试验台及附件用于复杂外形材料的测量

    • 对表面缺陷和光滑度不敏感

    • 庞大的材质数据库,保证各种材料的精确测量

     

    快      速:

    每次测量只需轻点一下鼠标,测量结果立即呈现在显示屏上,不到一秒钟。应用于在线模式下,可接受到采样信号后,立即测量。

    准      确:

    分辨率0.1nm,重复性0.3nm,绝对准确度优于1%,并且还有数百种材料组成的庞大材料库,帮助您准确分析您的薄膜。同时NanoCalc为光学测试系统,无任何运动部件,不会由于多次测量产生回程误差等机械运动误差,可长时间稳定工作。

    无      损:

    光学无损检测,无需像台阶仪、SEM等需破坏样品进行测量。

    灵      活:

    重量约为3.5kg,体积为180*150*263mm,USB连接方式,自适应90-240V的电压,携带方便,安装简单,可任意放置于实验室、生产线甚至办公桌上使用。拥有多种特种配件,可适用如非平面测量,显微测量,mapping等特殊要求。

    易      用:

    软件界面直观,操作简便,用户体验出色。无需专业知识以及复杂的技术培训,预先设置好测试配方后,每次重复调用即可。

    性价比高:   

    相对于传统膜厚测量设备,NanoCalc拥有非常高的性价比。

     

    主要应用

    • 半导体

    • LCD/TFT/PDP

    • LED

    • 触摸屏

    • 汽车

    • 医学

    • 太阳能

    • 聚合物薄膜

    • 眼镜

     

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    型号及参数:

    产品型号

    NanoCalc-VIS

    NanoCalc-XR

    NanoCalc-DUV

    波长

    400-850nm

    250-1100nm

    200-1100nm

    厚度范围

    50nm-20um

    10nm-100um

    1nm-100um

    产品型号

    NanoCalc-NIR

    NanoCalc-VIS-NIR

    NanoCalc-XR-NIR

    波长

    900-1700nm

    350-1700nm

    250-1700nm

    厚度范围

    100nm-250um

    50nm-150um

    10nm-250um

    分辨率

    0.1nm

    可重复性

    0.3nm

    绝对准确度

    <1%(50nm-100um)

    层数

    1~10层

    距光纤距离

    1~5mm

    距镜片距离

    5-100mm

    入射角

    90°通常

    光斑大小

    400um

    显微光斑大小

    1-20um

    光纤长度

    2m(可定制)

    通讯接口

    USB/RS232

    功耗

    12VDC,1.2A

    电源

    90-240VAC 50/60HZ

     

     

     

    关联产品:

    LIBS-激光诱导激光光谱系统(MX2500+)

     

     

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NanoCala光学薄膜厚度测量系统
利用分光光谱反射仪来精确地测量光学或非光学薄膜厚度,可广泛应用于半导体、医疗和工业生产中 !

品牌:Ocean Optics
型号:NanoCalc

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